Engenharia Mecânica
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Navegando Engenharia Mecânica por Autor "Cunha, Roger Brendel da"
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Monografia Acesso aberto Otimização no Processamento de Wafers na Manufatura de Semicondutores(2023-07-22) Cunha, Roger Brendel daOs processos produtivos sejam eles qual forem, exigem sempre o maior e melhor aproveitamento de seus recursos. A busca pela melhoria e eficiência é sempre um grande desafio para as empresas em todo o mundo. Com base neste conceito, será analisada uma maneira de obter um melhor aproveitamento e maior produtividade na manufatura de semicondutores, mais especificamente no processamento de wafers de Silício, que, na sua estrutura possuem milhares de componentes que compõem um chip de memória. O fluxograma produtivo deste insumo possui diversas etapas devido a sua criticidade e fragilidade e o principal objetivo será eliminar um destes processos. Através deste estudo, será possível comprovar que pode ser eliminado uma etapa deste fluxograma utilizando um equipamento de pulsação a laser chamado Stealth Dicing. Durante os experimentos, serão analisadas as características da propagação das trincas geradas pela emissão do laser no Silício e também as características técnicas entre equipamentos Stealth Dicing utilizando diferentes parâmetros de processo, como potência do laser, velocidade de avanço e quantidade de passes. Aplicando a otimização de projeto proposta, é possível aumentar a eficiência do processo em até 60% dependendo dos parâmetros escolhidos. Além da Stealth Dicing, o equipamento Backside Grinding foi analisado tendo em vista o que ambos trabalham em conjunto no processamento do wafer. Em 2022 ambos os equipamentos tiveram 97% de disponibilidade produtiva, o que permite viabilizar o estudo proposto.